| 产品型号： |
EX-3000 |
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品牌：日本电测 |
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| 产品简介： |
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| 本机能精确测量极细小物件镀膜厚度，可进行单层及多层膜厚测定、合金膜厚成份比同时测定及无素的光谱峰值测定分析。 |
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| 主要技术参数： |
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仪器特点： |
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搭载MS-WINDOWS系统（优越的操作性与高精度测定） |
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使用与IBM PC兼容个人电脑，采用MS-WINDOWS软体，使用时多彩多姿。 |
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采用二种滤波器 |
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用用数位式滤波器外另有机械式滤波器（两种滤波器），在测定时，若是*适当的条件下， |
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经常可得到*高的精度。 |
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准值仪5种孔径内藏式 |
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*小的准值仪孔径仅0.1 mm，可测定极微小的部品。 |
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标准：0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另备有2种特别规格可供选购。 |
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0.05,0.1,0.2,0.3,0.5 |
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0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5 |
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自动测定测量台 |
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利用鼠标来调整测量位置，非常敏捷快速。或是测量位置已完成登陆时，可连续自动测定， |
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利用座标补正、连结频道，来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。 |
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优越的显示机能 |
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测定部显示尽像的表示 |
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X线照射部可由WINDOWS画面上取得照射部的表示。从准仪照射测定物的位置，可由倍率 |
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率更机能来实现尽面上测出物放大。 |
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在膜厚测定中的能谱表示 |
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由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示，操作简单。 |
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提长资料处理的速度 |
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充实测量报告的作成机能 |
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采用MS-WINDOW软件，测定画的撷取，非常简便，可充衬测量报告的制作机能。可同时间 |
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隔处理多项工作，机器在测量中亦可处理其它工作：包括如测量报告的制作。 |
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测定物膜厚附着分布表示 |
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以三次元图案来表示测定物膜厚附着状态的分布，作判定时一目了然。 获得安心的*保*性。 |
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自己诊断机能及X线管保食机能 |
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自己诊断机能，迅速的对策来排除机器的因扰。附有X线管的使用时间及耐久时间表示机能， |
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可加强保养的安全性。 |
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仪器详细介绍： |
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1. X线源:油浸式1.2mA小型微小焦点X线管. 50kV管电压，可变管电压。 |
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2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。 |
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3. 检出器：比例计数管。 |
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4. 滤波器：采用 Co 和 Ni 双滤波器及数字式滤波器，可单一或同时使用。 |
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5. 准直仪：Collimator 采用五种孔径一体成型式，可自动切换使用。 |
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0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φL. |
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(选购) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φL. |
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(选购) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φL. |
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6. 样品观测系统：彩色CCD及高画质显示屏。 |
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7. 多能谱分析器：使用256高频分析器，光谱自动分析，在执行测量及运算时，非常快速。 |
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贰. 计算机操作部: |
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8. 计算机系统：(※仅供参考) |
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IBM 兼容中文个人计算机. |
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CPU：Intel Celeron 1GHz. |
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RAM：128 MB. |
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Floppy Disk：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1. |
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Hard Disk：40 GB. |
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17" 高画质显示屏. |
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EPSON彩色喷墨式打印机。 |
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9. 本机型(CO**OS-1X系列)之操作系统采中文窗口(Windows98)对话式操作，非常简便。 |
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参. 特性说明: |
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10. 测量项目： |
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单层膜厚测定. |
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2层膜厚测定. |
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3层膜厚测定. |
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无电解镍膜厚测定. |
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合金膜厚成份比同时测定. |
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元素的光谱峰值测定分析. |
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11. 测量材质：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)为激发法测量。 原子序22以下为吸收法测量。 |
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12. 测量范围：原子序22 ~ 24 ， 约 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 约 0.1 ~ 30 um. 原子序 |
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41 ~ 51 ， 约 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 约 0.05~ 10 um. |
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13. 测量机能： |
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同一点重复测定机能 |
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输出形式设定. |
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能谱测定. |
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14. 测量条件或膜厚规格可以保存. |
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当要测量相同的制品时，若测量条件已储存，可以马上进行测量。 |
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*大检量线档案数：可登录储存100组档案。 |
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*大测量档案数 ：可登录储存300组档案。 |
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15. 档案记录： |
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每一个批号可储存无限个测量数据.(因所使用的计算机之容量大小而定) |
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每一个测量档案可输入及储存公司名称. |
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每个批号可单独执行统计处理. |
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每个测量档案可输入不同的检量线(校正曲线). |
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16. 数据处理： |
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统计值表示：平均值、标准偏差、*大值、*小值、上下限值范围、Cp、Cpk。 |
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X-R 管制图. |
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柱状图：有自动设定及自己任意设定二种方式。 |
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可彩色打印观物显示屏上所观测之图像。 |
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17. 底材补正：当样品与标准片的底材不同时，可作底材补正。 |
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18. 观物显示屏：十字刻度线的高分辨率彩色观物显示屏。 |
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肆. 安全装置. |
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19. 本机俱有自动安全断电系统功能. |
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20. 由锁匙开关来控制X 线输出，以防止外人任意操作. |
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伍. 其它机能. |
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21. 密码辨识功能 |
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22. 装置维护调整. |
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23. 测量部主机： 尺寸：362(W) ×425(D) ×486(H) L. |
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重量：约 44.2 Kg. |
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24. 操作部：(※仅供参考) |
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计算机尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) L. |
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重量：约 8.8 Kg. |
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显示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) L. |
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重量：约16.5 Kg. |
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打印机尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) L. |
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重量：约 4.3 Kg. |
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柒. X-Y-Z轴可移动式测量台. |
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25. 测量台尺寸及移动量. |
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测量台尺寸 170 (W) ×100 (D) L |
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移动量(X-Y-Z轴) 70 ×70 ×50 L. |
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26. 测量样品限制. |
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样品限制高度： 45L |
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样品限制重量： 3 Kg. |
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捌. 使用电源. |
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27. 电压: AC100V ±10V ； 50/60Hz |
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(选购) AC110V， AC220V. |
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28. 容量: 700V |
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