功能用途
本产品利用涡流原理制造: 即被测蒸铝层靠近高频激磁磁场时, 感应产生涡电流, 因而产生涡流磁场, 此涡流磁场反作用于原来激磁磁场, 使传感器阻抗发生变化, 然后通过检测电路并进行放大, 输出与厚度相对应模拟电压。
技术参数
可测量范围与量程
被测薄膜尺寸:100mm±10%×200mm±10%
测量量程 :厚度90~800Å (0.009~0.08µm) 方阻95~0.47Ω/□
精确度
测量准确度 :厚度 ±(20Å+2%读数) 方阻 ±0.15Ω/□(在300~500Å范围)
读数重现性 :10Å (同一测量点)
仪器尺寸 :120 x 320 x 400(毫米)
重量 :毛重7公斤
配置
镀铝膜测厚仪壹台
校正片一片
电源线一根