国产激光干涉仪

激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备，由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场，随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量数控机床位置精度方面用途*为广泛。

国产激光干涉仪代表为中图仪器SJ6000激光干涉仪。SJ6000激光干涉仪产品采用进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。

激光干涉仪工作原理（SJ6000）

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而**道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入**个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

国产激光干涉仪（SJ6000）技术参数：

系统性能
测量方式：单频
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：约6分钟
工作温度范围：0~40℃
环境温度范围：0~40℃，环境湿度：0~95%
存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空气湿度传感器：±6% (0-95%)
大气压力传感器：±0.1kPa
线性测量
测量距离：0-40m
测量精度：0.5ppm (0-40℃)
测量分辨率：1nm
测量*大速度：4m/s