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型号：VGT-1018S
产品特点：
1，腐蚀工艺自动补药液*证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；
2，工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可
设定；
3，机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液
路布置区域。
4，药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统
5，DI槽配有在线式水质检测装置；
6，配有分体式废液回收系统；
7，配备自动灭火系统；
8，环保型自动、智能清洗系统
应用范围：
用于锗片镀膜前处理的清洗，也可以用于其他晶片的清洗腐蚀；
工艺说明：手动方式实现放件，取件，槽体间传送件；
设备形式：室内放置型；
设备结构：一体式、中央集成型
技术参数:
超声波功率：900w
超声波频率：28khz/48khz
换能器数量：18个
电源电压:三相五线380V
