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激光干涉仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的定位精度测量、误差修正和控制。激光干涉仪的*大特点是在具有强大的排除干扰能力的情况下还具有非常高的精度,其分辨率可以达到纳米*,从而可以大大提高制造领域的制造精度。
激光干涉仪与不同光学附件结合,可以测量距离、直线度、垂直度平行度、平面度。由于仪器为模块化结构,安装位置灵活,便于分析机床误差来源;而且测量时可以在工作部件运动过程中自动采集数据，更接近机床的实际使用状态。
与传统的检定方法相比,激光干涉仪具有较高的精度和效率,并能及时处理数据,为机床误差修正提供依据。
位置精度是机床的重要指标,目前各国机床检定标准中都**使用激光干涉仪。因此,用激光干涉仪检测机床各项误差是一种用传统测量手段难以实现的技术。
SJ6000激光干涉仪主要技术指标：
主机
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：≤ 6分钟
工作温度范围：(0~40)℃
存储温度范围：(-20~70)℃
环境湿度：(0~95)%RH
环境补偿单元
空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH
大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa
线性测量
测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)
测量精度：0.5ppm (0~40)℃
测量分辨力：1nm
测量*大速度：4m/s
角度测量
轴向量程：(0~15)m
测量范围：±10°
测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
测量分辨力：0.1″
平面度测量
轴向量程：(0~15)m
测量范围：±1.5mm
测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
直线度测量
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轴向量程 |
测量范围 |
测量精度 |
分辨力 |
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短距离 |
(0.1~4.0)m |
±3mm |
±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm |
0.01μm |
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长距离 |
(1.0~20.0)m |
±3mm |
±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
0.1μm |
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注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m |
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垂直度测量
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轴向量程 |
测量范围 |
测量精度 |
分辨力 |
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短距离 |
(0.1～3.0)m |
±3/M mm/m |
±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m |
0.01μm/m |
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长距离 |
(1.0～15.0)m |
±3/M mm/m |
±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m |
0.01μm/m |
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注：R为垂直度结果；M为测量距离，单位：m |
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自动精密转台
型号：WR50
角度测量范围：(0~360)°
测量精度：±1″
分辨力：0.1″
*高转速：10rpm
*高跟踪速度：2rpm
重量：1.9kg
高度：148mm
直径：112mm
通信方式：蓝牙传输
供电方式：锂电池
正交触发盒
信号输入：差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号
输出形式：10μs脉冲
触发延时：0.1μs
供电电源：12VDC
尺寸重量与供电
便携箱尺寸：613mm×460mm×230mm
标准配置重量：18kg
供电电源：(100~240)VAC
安全要求
激光的安全等*达到Class I要求
