目前的真空技术可以实现从1大气压(1000毫巴)到10-12毫巴范围内的真空压力测量,测量范围超过15个数量*。在这一范围内测量压强的仪表被称之为真空规。由于物理特性的原因,没有一个单独的真空规能够在整个压力范围内进行定量测量。莱宝公司提供采用不同设计的具有各自特有测量范围(通常为几个数量*)的真空规(测量原理应用直接压力测量和间接压力测量)。应用直接压强测量原理的真空规(**压强)的读数与被测气体种类和待测压强无关。它们通常被称为机械式真空规,通过记录作用力来直接确定压强。应用间接压强测量原理的真空规通过测量与气体粒子数密度相关的特性(例如,导热率、电离概率)来测量真空度。这些特性不仅与压强有关,还与气体的分子量有关,所以间接法所获得的压强读数取与被测气体种类相关。间接测量真空规的读数通常设置为的空气或氮气,测量其它气体或蒸气时,必须使用相应的修正系数。
选择合适的真空测量设备时,压强范围并不是**的准则。设备的运行工况起着重要作用,如果工艺中存在、振动、污染,气体冲击等问题,在选择真空计的时候要做相应考量。真空计对严苛的工况比较敏感,在使用它们时应先仔细阅读说明书,根据应用情况配置相应的保护措施。