三维非接触式表面轮廓仪

使用三维非接触式表面轮廓仪测量过程中，自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。中图仪器研发生产的SuperView W1三维非接触式表面轮廓仪以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

产品性能

纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关

扫描帧速：50FPS/s

粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）

光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关

**点数：1048576（标准）

台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ

因为三维非接触式表面轮廓仪测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，以及其独特的光源模式，*证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米*别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。