双频激光外差干涉仪

一、概述

sj6000双频激光外差干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量、检测仪器，通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何量的精密测量；在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。

中图仪器SJ6000双频激光外差干涉仪以技术实力为依据，在测量精度、测量速度、测量类型等方面，为用户提供了更多选择。

二、SJ6000功能特点

1、测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米*；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，*证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，*证干涉光路稳定。

2、具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。

3、可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

4、具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。

5、内置各种类国标（GB）、ISO（）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。

6、可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

7、测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。

8、安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

三、SJ6000技术参数

四、SJ6000使用说明

1、 必须定人保管，机加技术组人员专人，专人送检，他人不得随意动用，以防损坏，降低精度。
2、 要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。
3、 对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动，安置仪器前应检查三脚架的牢固性，整个作业过程中工作人员不得离开仪器，防止意外发生。
4、 应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量，此时检测结果将收到很大的影响。
5、 中图所配用的笔记本为笔记本，该笔记本不得外借，也不能安装任何其他软件，防止软件冲突和病毒，保障测量数据的准确，以防测量数据丢失。
6、 测量人员在拿取干涉仪之前，需先填写使用申请单，填写申请表后，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门签字后，方可使用。对其他部门人员如借用，需填写借用干涉仪使用申请单，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门签字后，方可借用。当干涉仪使用后，将要存库时，负责人必须点清器件，且所有器件良好，此时才能将干涉仪入库备案。
7、 负责人要每月对的器件进行清点，并查看是否有损坏、磨损等异常情况，将检查报告予以备案。

SJ6000双频激光外差干涉仪用途

1、激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理数据并输出误差曲线，为数控机床的误差，修正提供可靠依据，现场使用尤其方便。
2、激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。
3、激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。
4、激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。