光学表面3D轮廓仪

光学表面3D轮廓仪SuperViewW1集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，结合采用扩展型的相移算法EPSI让3D测量变得简单。

产品性能

纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关

扫描帧速：50FPS/s

粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）

光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关

至大点数：1048576（标准）

台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ

光学表面3D轮廓仪SuperViewW1结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米*别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

产品特点

参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；

环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；

双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石”也能安然无恙；

自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝”；

双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动”。

现代工业生产中，表面三维微观形貌的测量能更真实地反映零件表面的特征以及衡量表面的质量。3d形貌轮廓仪器就是用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米*的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米*粗糙度、轮廓等参数的测量。