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SuperViewW1中图仪器3d光学轮廓仪适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、波纹度、面形轮廓、孔隙间隙、台阶高度、粗糙度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析，是一款用于精密器件及材料表面的亚纳米*测量的检测仪器。
技术参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
注释：更多详细产品信息，请联系我们获取
SuperViewW1中图仪器3d光学轮廓仪操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。只需要操作者装好被测工件，在软件里设好视场参数，把物镜调节到被测工件表面，选择自动聚焦后，仪器就会主动找干涉条纹开始扫描测量。然后自动生成工件表面3D图像，一键输出反映工件表面质量的2D、3D参数，完成工件表面形貌一键测量。
可广泛应用于微机电、为纳米材料、光学加工、超精密加工、3C电子、半导体等行业中精密元器件的表面粗糙度、几何轮廓等参数的测量和分析。
