SuperViewW系列白光干涉3d形貌测量仪是以白光干涉技术原理,对各种精密器件表面进行纳米*测量的仪器,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
SuperViewW系列白光干涉3d形貌测量仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米*别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
产品功能
(1)白光干涉3d形貌测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例:
W系列3d轮廓仪的自动拼接测量功能,不管是在粗糙或是光滑、异形或是平面结构,当要测量超出适配镜头下的单视场区域的时候,可以根据不同表面特点进行重建算法的切换。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
部分技术指标
型号 |
W1 |
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光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 |
标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100× |
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光学ZOOM |
标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1× |
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标准视场 | 0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×) | |
XY位移平台 |
尺寸 |
320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
台阶测量 | ||
可测样品反射率 | 0.05%~** | |
主机尺寸 | 700×606×920㎜ |
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